Forno de deposição de vapor químico CVD 1000 Ordm C Forno de aquecimento de fusão

2Especificações técnicas e configuração básica

1. Temperatura nominal: 750°C
2. Temperatura máxima: 1000°C
3. Dimensões da zona de aquecimento: 770 × 770 × 300 mm (W × D × H)
4. Dimensões eficazes: 640 × 640 × 250 mm (W × D × H)
5. Material da câmara exterior: SUS310S
6. Material do revestimento internoQuartzo fundido
7. Tamanho do produto: Φ120
8. Capacidade dos equipamentos: 16 substratos por lote
9. Potência máxima de aquecimento: 16 kW
10. Método de aquecimentoAbaixo + Quatro lados.
11. Pontos de controlo de temperatura: Abaixo + Lado.l
12. Tipo de termocouple: Tipo K
13. Taxa de aquecimento: ≤ 8°C/min
14. Elementos de aquecimentoFEC aquecedores de fibra cerâmica
15. Método de abertura da porta do fornoDesenho de abertura superior
16. Estabilidade do controlo de temperatura: ± 1°C
17. Instrumento de controlo de temperatura: Controlador PID importado com função de ajuste automático
18. Etapas do programa20 passos
19. Alarme e proteção: Alarmes de sobre-temperatura, ruptura do termocouple e outros alarmes auditivos/visuais, com protecção contra desligação de energia por sobre-temperatura.
20. Aumento da temperatura da superfície:< 35oC.
21. Peso:Cerca de 500 kg.
22. Dimensões do forno:cerca de 1200 × 1200 × 1500 mm (W × H × D).